Atomic Layer Deposition

A Periodic Table of Elements for Atomic Layer Deposition

O: Oxide
N: Nitride
M: Metal
P: Phosphide/Asenide
S: Sulfide/Selenide/Telluride
C: Carbide
F: Fluoride
D: Dopant

Please Wait -- the data is being loaded

{[{datum.Symbol}]}
{[{datum.Number}]}
{[{datum.pt11.letter}]}
{[{datum.pt12.letter}]}
{[{datum.pt13.letter}]}
{[{datum.pt21.letter}]}
{[{datum.pt23.letter}]}
{[{datum.pt31.letter}]}
{[{datum.pt32.letter}]}
{[{datum.pt33.letter}]}
{[{datum.Name}]} ({[{datum.Symbol}]} {[{datum.Number}]})

{[{datum.pt11.letter}]} {[{datum.pt12.letter}]} {[{datum.pt13.letter}]} {[{datum.pt21.letter}]} {[{datum.pt23.letter}]} {[{datum.pt31.letter}]} {[{datum.pt32.letter}]} {[{datum.pt33.letter}]}

{[{datum.ALD}]}
{[{datum.Comment}]}